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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本USHIO牛尾分割投影光刻機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：UX-5系列
  • 產(chǎn)品廠商：USHIO牛尾
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
Ushio一直致力于為服務(wù)器、PC、智能手機(jī)、平板電腦等便攜設(shè)備提供*先進(jìn)的封裝應(yīng)用工藝。 Ushio在長(zhǎng)年培養(yǎng)的光源·光學(xué)技術(shù)上采用獨(dú)自的大面積投影透鏡技術(shù)，是面向采用與面板尺寸對(duì)應(yīng)的工件臺(tái)面的封裝基板的步進(jìn)式投影光刻設(shè)備。 在實(shí)現(xiàn)*頂端封裝基板所要求的高解像性和重疊精度的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)性。
詳情介紹：

日本USHIO牛尾分割投影光刻機(jī)UX-5系列



Ushio一直致力于為服務(wù)器、PC、智能手機(jī)、平板電腦等便攜設(shè)備提供*先進(jìn)的封裝應(yīng)用工藝。

Ushio在長(zhǎng)年培養(yǎng)的光源·光學(xué)技術(shù)上采用獨(dú)自的大面積投影透鏡技術(shù)，是面向采用與面板尺寸對(duì)應(yīng)的工件臺(tái)面的封裝基板的步進(jìn)式投影光刻設(shè)備。

在實(shí)現(xiàn)*頂端封裝基板所要求的高解像性和重疊精度的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)性。


  • 搭載超高壓UV燈
  • 值得稱贊的高度均一的照射光學(xué)系統(tǒng)
  • 為數(shù)不多的大面積投影鏡頭


     


主要用途：



  • FC-BGA

  • FC-CSP

  • interposer

  • 2.1D

  • 2.5D

  • 封裝

  • 半導(dǎo)體后段工藝

  • RDL

  • Passivation

  • TSV

  • 印刷基板






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