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產品詳情
簡單介紹：
詳情介紹：
HM5000是一款氣體質量流量計。 有通用型和高性能兩種類型，可根據應用和用途進行選擇。
特征
-
· 流量范圍廣
*小范圍為 0.5 mL/min（nor），*大值為 0.400 L/min （nor）
-
· 高精度
±1% F.S. （高性能型）
-
· 通過混合IC提高可靠性和小型化
-
· 可選功能升級
軟啟動功能（**常閉型）
輸出信號 1.5VDC
用法
- · 一般工業流程
- · 各種化學分析
- · 半導體制造工藝
- · 氣體恒流控制、混合控制
- · 設備集成
主要規格
| 類型 |
通用質量流量計 HM5122B， HM5123B 質量流量控制器 HM5172B， HM5182B HM5173B |
高性能 質量流量計 HM5111B， HM5112B， HM5113B 質量流量控制器 HM5141B， HM5151B HM5142B， HM5152B HM5143B |
|---|---|---|
| 測量對象 | 一般氣體 | |
| 口徑 | 1/4"、3/8"、1/2" | |
| 流量范圍 |
*大： 0 ~ 400升/分鐘（挪威） *小： 0 ~ 30升/分鐘（挪威） |
*大： 0 ~ 400L/分鐘（nor） *小： 0 ~ 5L/分鐘（nor） |
| 流體溫度 | 5 ~ 45°C | |
| 流體壓力 | *大0.97MPa | |
| 過程連接 | 標準：軟件（選件：錄像機、錄像機） | |
| 測量精度 | ±2.0% ~ ±4.0%F.S | ±1.0% ~ ±2.0%F.S |
產品留言
