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產品名稱：SHINKUU真空設備磁控降低污染物附著力
產品型號：TVS-40T
產品廠商：SHINKUU真空設備
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簡單介紹：

該設備將 TEM 支架存放在無油真空下。通過使用該設備，可以顯著降低污染物的附著力。它存放在單獨的真空室中，可以單獨進出。 TEM 支架端口是根據您使用的 TEM 支架制造的。

詳情介紹：

關于TEM Holder
配備 4 個 TEM 支架端口。創建一個與您的支架相匹配的端口。可以處理TEM制造商的特殊支架。
得益于獨立的排氣系統，當更換支架時，其他存儲支架不會暴露在大氣中。帶有玻璃窗，透過該窗口可以看到每個支架樣品（NW40 法蘭）

操作
配備觸摸屏，操作方便。配備自動排氣排序和程序控制聯鎖控制。
當泵計劃進行維護時，我們將通過在屏幕上顯示來通知您。

主要產品規格

項目	規范
權力	AC100V、10A。使用帶地線的 3 芯插頭。
設備大小	寬度 585 mm，深度 555 mm，高度 392 mm（深度尺寸因 TEM 支架而異）（設備重量：36 kg）
排氣系統	20L/min隔膜泵（外置） 67L /sec渦輪分子泵（內置設備）
*大真空度	5x10-4Pa以下
真空度測量	全范圍真空計

關于選項

燈加熱裝置
加熱方式：采用帶凹面鏡的鹵素燈加熱。
散熱方式：風機風冷散熱。
溫度控制：熱電偶測溫PID控制，帶電子定時開關。
控制電源尺寸：535 W x 550D x 185 H
等離子清洗裝置
電源：AC100V（單相100V）3A，3芯插頭，帶地線
清洗目標：去除污染物，防止電子束照射沉積的粘附。
氣體介紹：針閥手動調節，電磁閥為氣體推桿ON/OFF方式
等離子氣體：空氣、氬氣、氬氣/氧氣等。 **
措施：每個系統的
保險絲等離子電源：頻率 13.56 MHz，輸出 0 ~ 50 W 可變，輸出指示帶
等離子點火指示燈的數字儀表，等離子照射時間控制電子
定時器：0~1,2,3,12,30/秒，分鐘，小時各自由設置.電子定時器
等離子電源尺寸：250W x 300D x 135H 重量 9Kg
等離子噴槍尺寸：70mmΦ x 220L 等離子噴槍安裝 NW-40
氣體：0.08~0.1 MPa，管道 1/4“ Swagelock（氣瓶和減壓閥由用戶準備）

* 由于 TEM 支架的形狀，燈加熱和等離子清洗裝置端口的使用受到限制。
特別是，不可能共享來自不同制造商的持有人。

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產品名稱：SHINKUU真空設備磁控降低污染物附著力