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產品詳情

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產品名稱：ULVAC愛發科螺桿型干泵
產品型號：LS1200A
產品廠商：ULVAC愛發科
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簡單介紹：

LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過**的螺桿形狀和節電技術的融合，使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。

詳情介紹：

LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過**的螺桿形狀和節電技術的融合，使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機型中，您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇*佳排氣容量的泵。

特點

■大氣壓附近的排氣速度*大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。
■標配的專用消音器能解決干式真空泵特有的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發科獨有技術。
該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本（*3)
■希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。
通過組合使用排氣速度可以達到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C時
（*2）C規格時
（*3）L規格還可以使用稀釋氣體。

用途

LS系列有兩種規格。
首先是面向清潔工藝的規格。
為內置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業用途等。

規格

型式	（C：C式樣）（L：L式樣）	LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
		C	L	C	L	C	L	C	L
*大排氣速度	m³/h	120		380		600		1000
到達壓力	Pa	≦0.6		≦0.1
電源電壓		200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或　400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略值 *1	kW	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷卻水量	L/min	>2.0		>4.0
Purge gas 量 *2	SLM	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50
大水蒸氣處理量 3	kg/h	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5
噪音值*1	dB(A)	61		61		62		64
吸氣口		KF50(水平)／ VG50(垂直)		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排氣口		KF40		KF40		KF40		KF40
質量	kg	142		220		242		266
適用規格		CE、cTUVus
標準附屬品		電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器
本體選配件		電源電壓：200V級或400V級、密封部材質：全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件		MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge