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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發科低溫泵

  • 產品型號：CRYO-U6H
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

特點

  • 輕量?緊湊、標準尺寸*小的泵
  • 適用于實驗室和研究室的小型真空設備。
  • 可以多臺運行（*多3臺）
  • 可以達到超高真空（10-8Pa以下）

標準規格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 750
氫 1,100
氬 620
水 2,100
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.1×103(7.9)
氫 1.1×102(0.8)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 5.6×107(4.2×105)
氫 3.1×105(2.3×103)
冷卻下降時間(動力循環) min(Hz) 80/70(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-150,UFC-203
壓縮機組 C10T,C10AT
重量 Kg 19

*維護周期：16,000小時

外形尺寸 (單位:mm)

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