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- KRK笠原理化
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- KITZ北澤
- ONOSOKKI小野傳感器
- SAKAGUCHI坂口電熱加...
- KOYO光陽
- LUBE泵閥
- KURABO久保田脫泡機
- MCRL村上分光測色儀
- NIPPONMUKI無機過濾...
- ORC歐阿希照度計
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- SAKURAI櫻井打印紙
- KEYENCE基恩士
- LUCEO魯機歐應力儀
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- AKRIBIS雅克貝斯精密平...
- COSMO科斯莫檢漏儀
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- METROL美德龍
- VALQUA華爾卡配管部品
- CHINO千野溫濕度計
- HIKARIYA光屋檢查燈
- HEIDON新東攪拌機
- SOLAX/SERIC索納克...
- SANKO山高膜厚計
- ITOH伊藤粉碎機
- NEWKON新光針孔機
- ONOSOKKI小野編碼器
- ELMEX安科生物涂抹棒
- AxoScan美國
- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林時計
- Navitar納維塔爾鏡頭
- KANETEC強力脫磁裝置
- NPM日本脈沖電機
- YUASA尤阿薩折彎機
- UNILAM優尼光紫外燈
產品詳情
簡單介紹：
緊湊經濟，適合研發
通過安裝運輸室和 L/UL 室（可選），也可以實現全自動濺射
詳情介紹：
■ 緊湊經濟，適合研發 ■ 通過安裝運輸室和 L/UL 室（可選），也可以實現全自動濺射
電池材料、微機械、防反射膜、阻隔膜、透明導電膜、記錄介質
目的：該裝置的目的是濺射各種材料
標準規格
真空室
（濺射室）
圓柱形，SUS304，內部尺寸ф350 x H270
頂蓋上升旋轉式（空氣液壓驅動） 極限
壓力：1x 10-4Pa以下 帶百葉窗的窺視孔
烘烤加熱器（可選）
濺射式（可改為濺射式）
陰極
2“ 磁控管陰極 4
個用于磁性靶材的陰極（可選） 遠程
操作單個百葉窗（可選：定時器驅動） RFxRF
或 RFxDC（可選） 可同時放電
PCB支架
ф280旋轉基板支架
3~30rpm連續旋轉或90o步進給
水冷卻（可選：300oC加熱）可反向
濺射（RF300W）（可選）
排氣系統
300 L/sec TMP + RP（可選：可改為干泵） 通過蝶閥調節電
導率（手動） 自動
運行排氣和干氣泄漏
氣體基
質量流量控制器：2線（可選：可加裝氣體系列）
真空計
寬帶電離真空計 + 皮拉尼真空計
濺射電源
2 x RF300W（可選：可添加直流電源） 兩個
單元都是自動匹配的
效用
安裝空間：約W2000 x D1000 x H1500冷卻
水：3 L/min，0.1~0.15 MPa
電源容量：3ф 200V 5kVA
濺射氣體，泄漏干燥氣體
選擇
請參考以上運輸室、
裝卸室
等項目。
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