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產品詳情
  • 產品名稱:ARK TECH方舟UV-LED光源

  • 產品型號:EW04S
  • 產品廠商:ARK TECH方舟
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簡單介紹:
這是一款UV-LED光源,用于在g線和i線光刻膠兼容晶圓周圍曝光。 獨特的光學設計可實現超過 7,000 mW/cm2 的高輸出。
詳情介紹:
項目 物質
工作環境溫度 5~40°C(無凝結。 )
電源電壓 單相 100~240V
工頻 50/60赫茲
發光峰值波長 365±5納米
光輸出穩定性 ±5%以內
初始紫外線強度 2000mW/c㎡以上(365nm處,距掩模0.5mm)
強度分布的均勻性 10%以下(4×5mm區域)
紫外線發光源 UV-LED燈
紫外光源壽命 20000小時(*大驅動電流下的預計壽命) * 紫外線強度為初始強度的 50% 或以上時的照明累積時間
輻照開/關功能 UV-LED 開/關控制 (通過遙控和手動控制開燈和關燈)
光強調節功能 UV-LED電流調節光強度調節范圍為20~100%
外墻材料 不銹的
外形尺寸 150(W) × 200(D) × 192(H) 毫米

輻照分布

輻照分布

外圖

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