高性能數字通訊質量流量控制器MC-3000L

可確保精度范圍在±1%S.P.（設定值）的高性能數字通訊質量流量控制器。可搭載的選配規格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實裝和接頭名稱。

特點

由于CVD（化學氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設備和蝕刻設備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質量流量控制器至關重要。

此外，前驅體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結構很重要。選擇LINTEC高性能質量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【*高工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應規格。

分析設備可能需要控制極小流量，但一般質量流量控制器的*小F.S.為5SCCM，因此無法對應。 MC-3000L高精度質量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外，高性能質量流量控制器MC-3000L還標配死體積較小的隔膜閥。

詳情請致電或郵件咨詢。

溫度	*下壓差	*大壓差	精度	控制范圍	*小F.S.	*小F.S.	密封件
_5～50℃	_50kPa	_300kPa	_±1%S.P.	_2~100%F.S.	_5SCCM	_400SLM	_Au

Lintec 琳得科高性能數字通訊質量流量控制器 MC-3000L

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