LINTEC林泰克  EtherCAT® 質量流量控制器  MC-5470C
LINTEC林泰克  EtherCAT® 質量流量控制器  MC-5470C

簡 介MC-5000C系列主要是根據 SEMI標準所制成的 EtherCAT® 通訊接口質量流量控制器特 點
通訊接口采用 SEMI E54.20-1108 標準的 EtherCAT®搭配 LINTEC **的環境溫度補償式質流傳感器內置微處理器提高處理效能
控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
采用高速度，高性能的壓電控制閥
使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環境下亦能維持其安定性
EtherCAT質量流量控制器MC-5000C
用于半導體生產工藝的高性能質量流量控制器的EtherCAT通訊版本，符合SEMI認證。 EtherCAT通訊用于半導體制造設備的高速傳輸系統。
標配包括半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC**的環境溫度補足式質流傳感器，支持液化氣體等選配規格。
特別之處
精度范圍±1%S.P.
金屬密封
無塵生產(粒子標準監控)
環境溫度補足式質流傳感器
EtherCAT 通信
選配規格
小流量 F.S.
液化體
Large-flow 范圍
使用范例
EtherCAT通訊設備的統一化
越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通訊接口（數字I/F），用于高速控制機械臂等運輸系統。 EtherCAT通訊有65,536個節點，MFC的所有測量系統和驅動系統元件都可以與EtherCAT通訊統一。