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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發科干式真空泵

  • 產品型號：NRL60A
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
ULVAC愛發科NRL60A干式真空泵，北崎有售
詳情介紹：

ULVAC愛發科NRL60A干式真空泵

ULVAC愛發科NRL60A干式真空泵



    NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

      特長
      NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
      低噪音、低振動
      優良的耐腐蝕性
      標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
      選購件
      可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
      用途
      ?  活性氣體（CVD、刻蝕等）。
      ?  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
      ?  用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
      ?  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。
      ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。
技術參數
外形尺寸圖
抽氣速率曲線


* 1  極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
* 2  無結露。
* 3  用調節閥所調整的壓力表的值。
* 4  氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。


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