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產品名稱：EBARA荏原廢氣處理設備
產品型號：G5-600-A5
產品廠商：EBARA荏原
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簡單介紹：

EBARA荏原廢氣處理設備 G5-600-A5，北崎有售，歡迎咨詢。

詳情介紹：

EBARA荏原廢氣處理設備 G5-600-A5

產品介紹

G5型是制造工藝所用可高效處理各種氣體的燃燒式廢氣處理裝置。可批量處理多種氣體，能夠高效進行通常處理起來較為困難的PFCs氣體的處理。通過**的副產物處理措施以及結合處理對象氣體種類和數量實施的可調式（燃料供應量可調）運行，能夠降低運行成本。該裝置是半導體、液晶面板、太陽能電池和LED等電子元件制造以及化學材料工廠和各種研究室等用途的*佳選擇。產品陣容還包括*大流量為1,200L/min的大流量機型。

G5型

高效處理可燃性氣體和氟化溫室氣體（PFCs氣體）的燃燒式廢氣處理裝置

燃燒式廢氣處理裝置

批量處理多種氣體

高效處理PFCs氣體

副產物處理措施和粉塵自動排放功能

運行成本低

運行時間長

與氣體種類和數量相適應的可調式運行

提高維護性能

可滿足CE標示/SEMI-S2/NRTL要求

規格

設備名稱	單位	G5-350 A1~A4/P1~P4	G5-500 A1~A4/P1~P4	G5-600 A1~A4/P1~P4	G5-1200 A1~A4/P1~P4
處理方式		燃燒式 + 濕式	燃燒式 + 濕式	燃燒式 + 濕式	燃燒式 + 濕式
*大允許流入氣體量	L/min	350	500	600	1200
燃料		選擇城市燃氣/丙烷氣體	選擇城市燃氣/丙烷氣體	選擇城市燃氣/丙烷氣體	選擇城市燃氣/丙烷氣體
尺寸	W x D x H mm	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 1,100 x 2,000	1,200 x 1,100 x 2,200
可處**體例		工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等	工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等	工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等	工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等
標準裝備品		粉體去除用燃燒器刮板	粉體去除用燃燒器刮板	粉體去除用燃燒器刮板	粉體去除用燃燒器刮板
選項		自來水、污水使用量削減單元	自來水、污水使用量削減單元	自來水、污水使用量削減單元	自來水、污水使用量削減單元

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京公網安備 11030102010384號

產品名稱：EBARA荏原 廢氣處理設備

產品介紹

G5型

高效處理可燃性氣體和氟化溫室氣體（PFCs氣體）的燃燒式廢氣處理裝置

規格

產品名稱：EBARA荏原廢氣處理設備