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產品詳情

  • 產品名稱：EBARA荏原 廢氣處理設備

  • 產品型號：FDS100S
  • 產品廠商：EBARA荏原
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
EBARA荏原 廢氣處理設備 FDS100S，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

EBARA荏原 廢氣處理設備 FDS100S

EBARA荏原 廢氣處理設備 FDS100S



產品介紹


FDS型是無需廢水處理、能夠高效**處理PFCs氣體的干式廢氣處理裝置。可高效處理99.9%以上的PFCs氣體，分解后的含氟廢氣能夠干式固定，所以不會產生廢水，無需進行有毒廢水處理。產品陣容包括：*大流入廢氣量250L/min、PFCs去除效率99%以上（使用250L/min雙筒式)、通過反應槽串行流程設計可大幅提高裝置運行時間的雙筒式設備；方便與傳統干式廢氣處理裝置相互置換的單筒式設備。該裝置也是不具備廢水處理設備和燃料線路的實驗室的*佳選擇。



規格

設備名稱 單位 FDS100S FDS250
處理方式 干式 干式
反應槽條數 1 2
反應槽更換檢測 標準：荷重計
選項：PFC檢測器 		標準：PFC檢測器
*大允許流入氣體量 L/min 100L/min 250L/min
尺寸 W x D x H mm 600×600×2,000mm 1,605×1,000×2,507
處理劑壽命 L/支 CF4 : 3,000 CF4 : 10,000
處理對象氣體 CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等 CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等


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