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產品列表
  • BROOKS 布魯克斯 質量流量控制器 GP200 系列是業界首款完全不敏感、基于壓力的質量流量控制器 (P-MFC),專為半導體制造中的**蝕刻和沉積工藝而設計。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 彈性體密封質量流量計 它專為滿足吹掃氣體、過程分析和分析流量測量的需求而設計,具有成本效益和穩定性,其電子輸出信號可替代渦輪流量計、基于面積的流量計和其他體積流量計。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質量流量控制器 4800 系列控制器/儀表的主要優點:先進的 MEMS 熱傳感器具有專用的 PID 算法,該算法針對控制閥的響應進行了優化,使 4800 系列控制器能夠在高速下跟蹤實際流量,即使設定值任意更改也是如此。 可選的本地操作員界面 (LOI) 是一個方便的用戶界面,用于查看、控制和配置設備,而無需遠程輔助電子設備。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質量流量控制器 4800 系列控制器/儀表的主要優點:先進的 MEMS 熱傳感器具有專用的 PID 算法,該算法針對控制閥的響應進行了優化,使 4800 系列控制器能夠在高速下跟蹤實際流量,即使設定值任意更改也是如此。 可選的本地操作員界面 (LOI) 是一個方便的用戶界面,用于查看、控制和配置設備,而無需遠程輔助電子設備。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質量流量計 無論是灰塵、濕度、極端溫度還是濕氣,SLAMf 系列彈性體密封熱式質量流量控制器和流量計都能提供久經考驗的 SLA5800 系列流量計和控制器的高精度和長期穩定性。 專門設計的 NEMA 4X/IP66 級外殼可保護先進的數字電子設備,并為過程關鍵氣體/流體質量流量提供穩定、準確的測量和控制。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質量流量計 無論是灰塵、濕度、極端溫度還是濕氣,SLAMf 系列彈性體密封熱式質量流量控制器和流量計都能提供久經考驗的 SLA5800 系列流量計和控制器的高精度和長期穩定性。 專門設計的 NEMA 4X/IP66 級外殼可保護先進的數字電子設備,并為過程關鍵氣體/流體質量流量提供穩定、準確的測量和控制。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質量流量計 無論是灰塵、濕度、極端溫度還是濕氣,SLAMf 系列彈性體密封熱式質量流量控制器和流量計都能提供久經考驗的 SLA5800 系列流量計和控制器的高精度和長期穩定性。 專門設計的 NEMA 4X/IP66 級外殼可保護先進的數字電子設備,并為過程關鍵氣體/流體質量流量提供穩定、準確的測量和控制。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 流量計 無論是灰塵、濕度、極端溫度還是濕氣,SLAMf 系列彈性體密封熱式質量流量控制器和流量計都能提供久經考驗的 SLA5800 系列流量計和控制器的高精度和長期穩定性。 專門設計的 NEMA 4X/IP66 級外殼可保護先進的數字電子設備,并為過程關鍵氣體/流體質量流量提供穩定、準確的測量和控制。 查看詳情
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