• 高照度、均一度照射
• 初期照度是650mw/cm2以上（220～320nm）、且照度均勻度保證在±10%。

• 采用依據SEMI規定之裝載接口的EFEM（φ12寸裝置）
• φ12寸用裝置、采用裝載接口(依據SEMI) 的EFEM、
• 以及搬運系統 采用無塵快速的2Finger搬運機器人、以達到高Throughput。

• 采用WindowsNT PC的高操作性與以GEM300為準（φ12寸裝置）
• φ12寸用裝置采用Windows NT PC，達到**的操作性。亦符合GEM300規定。

• 燈管裝置更換容易
• 燈管更換時無須調整，并降低裝置的停機時間。

• 配備照度一定方式與積累計算曝光方式（φ12寸裝置：選購配備）
• 使用照度一定方式、并積累計算曝光方式、達到制程的穩定化與一致化。

• 豐富的產品系列
• 對應φ6寸用裝置（可與φ5寸以下共用）、φ8寸用裝置（ 可與φ6寸以下共用）、
• 以及φ12寸專用裝置等所有工具匣。此外，亦備有準分子(Excimer)燈的φ8寸用裝置。

2Finger搬運機器人

燈光裝置

• 提高乾蝕時的耐電漿性

• 離子注入時的阻劑脫氣及燒入

• 電荷消除與消除疲乏

• Low-k Cure

• 薄膜磁頭之層間絕緣膜形成

• 化合物半導體的Lift-Off工程

• 表面改質

• CCD與CMOS影像儀的去色(bleaching)等