FUD-1 型號-13

單組分濃度計的特點 可以進行實時濃度測量，從而輕松構建濃度管理系統(tǒng)。 標配模擬DC4~20mA和數字RS232C 測量誤差輸出和報警輸出為標準設備 標配自診斷功能和錯誤信息顯示 緊湊輕便的電池變送器可直接安裝在生產線上 PFA接液部件材料，小輸出設計對化學液體沒有影響。

優(yōu)點 實現高精度的連續(xù)測量 無需定期調整或校準，免維護 安裝簡單，安裝時無需進行各種調整 實時輸出，便于反饋到過程

用 CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等 控制稀釋過程中的各種化學濃度（H2O2、四甲基氫氧化銨、HNO3、H2SO4、HCl 等） 控制清洗過程中的清洗液濃度（HF、NH4OH、KOH、IPA 等） 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度（HF、H2SO4 等）

規(guī)范