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產品詳情
  • 產品名稱:日本FUJI-US富士工業單組分濃度計

  • 產品型號:FUD-1 型號-130
  • 產品廠商:FUJI-US富士工業
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
該型號定位為FUD-1 Model 13的**型號,可滿足高精度和高穩定性測量等客戶需求
詳情介紹:
日本FUJI-US富士工業單組分濃度計FUD-1 型號-130





單組分濃度計的特點

Model-130是強調測量濃度穩定性的概念模型,在半導體制造工藝等需要高精度、高穩定性濃度計的情況下非常有效。

優點

  • 實現高精度的連續測量
  • 無需定期調整或校準,免維護
  • 安裝簡單,安裝時無需進行各種調整
  • 實時輸出,便于反饋到過程

  • CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等
  • 控制稀釋過程中的各種化學濃度(H2O2、四甲基氫氧化銨、HNO3、H2SO4、HCl 等)
  • 控制清洗過程中的清洗液濃度(HF、NH4OH、KOH、IPA 等)
  • 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度(HF、H2SO4 等)



規范

格式 FUD-1 型號-130
測量參數 超聲波傳播速度和溫度
指示 LCD(濃度、溫度、聲速/各種參數)
輸出信號 模擬DC4~20mA(濃度值可任意設定) 數字RS232C(濃度、溫度、聲速、錯誤代碼)

報警上限和下限 測量異常
權力 AC100V~240V 50/60Hz 30VA (也可使用DC24V)
結構 面板安裝(符合 DIN 標準)
功能 輸出范圍設置功能、報警輸出設置功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏移和增益設置功能、自診斷功能、故障**功能、異常值消除功能
選擇 溫度輸出(DC4~20mA)
渠道 高達 10Ch
電纜 6米
接液部件材料 全氟橡膠涂料
關節 有多種公稱直徑1/2~1英寸可供選擇。
測量環境 轉爐
10~40°C
相對濕度85%以下
發射機 5~45°C
測量的流體溫度 0~50°C
壓力 0.3兆帕
流量 5升/分鐘以下


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