特征

• 01. 1臺即可實現全封閉、電導調整。
• 02.可從差壓狀態（真空-大氣壓）開啟。
• 03.由于采用電機直接驅動機構和高精度減速機，位置精度的再現性**。
• 04. 根據控制方式，可以進行開度調整、速度調整等各種動作模式。
• 05.適用于高流量排氣，耐久性優異。
• 06.可通過角度顯示指示器從外部檢查圓盤的位置。
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規格

口徑	25A 至 250A
泄漏量	1×10 -9 Pa?m 3 /s以下
使用面積	10 5至 10 -5 帕
圓盤密封	氟橡膠O型圈
軸封	氟橡膠O型圈
接液部分材料	SUS304
指標	帶角度外顯指示器
驅動系統	交流伺服電機（三菱電機MR-J4系列）
選項	打開/關閉檢測光電傳感器

*我們也可以生產特殊規格的產品。

*盤封和軸封的標準材質為氟橡膠，但也可根據用途選擇其他材料。

**大速度設置由閥門決定。

* 請選擇符合規格的伺服放大器。

*由于改進，本規格如有更改，恕不另行通知。