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產品名稱：TOKYOKEISO東京計裝超聲波流量計
產品型號：SFC-010L
產品廠商：TOKYOKEISO東京計裝
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簡單介紹：

詳情介紹：

UCUF-02M/SFC-010L是一款用于液體的超聲波流量計。可高精度測量純水、超純水、各種化學溶液等的微小流量。測量管道的直徑為2.5 mm，涵蓋了傳統UCUF超聲波流量計難以測量的微小流量范圍。所有接液部件均由半導體行業的PFA組成，具有理想的清潔結構，沒有移動部件，也沒有容易積液的密封部件，使其成為半導體制造設備等需要清潔的工藝的理想選擇。流量計的入口和出口部分是標準尺寸的管子，可以連接到各種PFA配件。

特征

· 這種小直徑
超聲波流量計成功地測量了超聲波在內徑φ2.5 mm的管道中的傳播，這是難以測量超聲波傳播的。
· 微量*小
滿量程設置范圍：0 ~ 10 mL/min
· EMC符合標準：EN61326-1
· 符合 RoHS 標準
· 測量高達 40 mm2/s 的高粘度流體
· 理想的清潔結構檢測器
· 耐腐蝕，易于安裝
· 精度：在指示值的 ±1% 以內（流速為 25 mL/min 或更高時）

主要用途

· 半導體制造過程中純水和超純水的流量測量
· 各種化學品注入過程的流量測量
· 高腐蝕性液體的流量測量
· CMP 漿料流量測量
· 其他，小~中直徑過程液體流量測量
· 適用于清潔設備和CMP設備的流量測量和控制

主要規格

探測器規格

格式	UCUF-02M
流體	一般液體（不含氣泡和PFA的液體可滲透或侵蝕）
流量	大 0 ~ 100 毫升/分鐘小 0 ~ 10 毫升/分鐘 *滿量程設置為 10 毫升/分鐘步進
精度	±1% RD（25毫升/分鐘或更高） ±0.25毫升/分鐘（小于25毫升/分鐘） *沖洗20°C的水時。
溫度	10 ~ 90°C
壓力	0 ~ 0.5 兆帕
連接直徑	1/4“ PFA 管端
材料	聚苯乙烯
結構	IP65 （室內）
電纜	5米（典型值）

轉換器規格

格式	SFC-010L
顯示	4 位 LED，瞬時流速（毫升/分鐘）
輸出	1）電流輸出： DC4-20 mA（負載電阻500 Ω以下） 2）頻率輸出：集電極開路脈沖負載額定值：DC 30 V，10 mA 0 ~ 1000 Hz 3）報警輸出：集電極開路（2點）額定負載：DC 30V，10mA
權力	直流 24 V ±10 %
結構	IP20 （室內）
安裝	導軌安裝

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產品名稱：TOKYOKEISO東京計裝超聲波流量計

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