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產品詳情
  • 產品名稱:TOKYOKEISO熱式質量流量計

  • 產品型號:TC-1300
  • 產品廠商:TOKYOKEISO東京計裝
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
詳情介紹:

TC-1000/2000 是一款質量流量控制器,將氣體熱質量流量計與控制閥相結合。 有用于一般用途的TC-1000和用于高壓的TC-2000。 不受壓力和溫度變化影響的質量流量測量,以高精度控制各種氣體的流量。



特征

  • · 確保各種氣體的恒定流速
  • · 兩種氣體與質量流量計一起按比例混合
  • · 各種半導體制造工藝
  • · 適用于各種分析儀器
  • · 腐蝕性氣體管路的流量控制
  • · 用于新材料和器件的研發

主要規格

TC-1000 高壓 TC-2000
測量流體 一般氣體
流體壓力 *大 0.99 MPa *大 10 MPa
流量范圍 *小 0~5毫升/分鐘(挪威) *大 0~500升/分鐘(挪威)
*小 0~50毫升/分鐘(挪威) *大 0~100升/分鐘(挪威)
流量控制范圍 滿量程的2~100%
控制壓差范圍 小流量 TC-1100 : 0.06~0.3 Mpa 大流量 TC-1550 : 0.18~0.5 Mpa

(詳情請參閱
技術指南。 )
1MPa范圍在一次壓力
的50~80%以內(詳
見技術指南) )
流體溫度 5~50°C
精度 1% F.S. (25°C 基底)
反應 3秒內(98%)
材料 SUS316, SHOMAX 或 SUS430, 聚四氟乙烯, 氟橡膠或 CR
過程連接 Rc1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 螺釘, OD1/4, 3/8 SW, VCR, VCO 等
權力 直流 +15V 25mA 直流 -15V 320mA
外設 TM-1400 微型轉換器單元


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