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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:IWAKI易威奇FS系列高速沖程氣動風(fēng)囊泵

  • 產(chǎn)品型號:FS-60HT2
  • 產(chǎn)品廠商:IWAKI易威奇
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
北崎熱賣IWAKI易威奇
詳情介紹:


高速沖程

提升泵的沖程速度 (*高達(dá)240 spm),讓制造過程中,大大減少泵的尺寸、重量、成本,及降低脈動。


無污染設(shè)計

過流端零件均采用氟樹脂材質(zhì),沒有金屬零件外露的設(shè)計,外殼采用氟樹脂材質(zhì)。使用獨有的軸封 (已申請**),能顯著降低顆粒的產(chǎn)生。


液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度范圍高達(dá)5 - 180°C,吐出壓力高達(dá)45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程,同時適用于化學(xué)液體供藥。


易于維護(hù)

更換開關(guān)無需拆卸,不需定期收緊螺栓,減少了停機時間。


傳感器驅(qū)動系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量

規(guī)格

*大吐出量

55 L/min

*大吐出壓力

0.5 MPa

*大耗氣量

670 NL/min

*大沖程率

240 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 180 °C


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