適用于高真空度等級的低排氣接觸式傳感器

GN系列僅使用不排氣的零件制造，可在10-5Pa的高真空環境中使用。用于真空蒸鍍和濺射設備中晶片和掩膜的定位，陸續被大型半導體制造設備制造商采用。
?可使用上限溫度為120度
?不使用潤滑脂或潤滑油。

可在真空下使用的低成本傳感器

包括放大器和連接器在內，每1個真空光纖傳感器和位移傳感器的成本接近20萬日元。
GN系列以低價格為客戶降低成本。

符合各種條件的豐富的產品陣容

根據使用條件，備有直進接觸型、電纜直角方向出線型、球形觸頭型等豐富的產品陣容。

根據使用環境變更材質

提到真空環境，不同客戶的真空環境各有不同。
我們可根據客戶的環境變更傳感器主體和電纜的材質，進行客制化。
※圖片為磷青銅規格。

防污染措施

使用與普通生產線分開設置的GN系列專用無塵室進行制造，徹底防止污染。

根據應用場景，可進行以下客制化。

?·可變更電纜長度

?根據客戶的使用環境，可以單獨承接觸頭、外殼和電纜等零件材質的變更。