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產品詳情
  • 產品名稱:SHINKUU日本真空設備靶材濺射涂層設備

  • 產品型號:MSP-mini
  • 產品廠商:SHINKUU真空設備
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
該裝置是帶有磁控管目標的金屬涂層裝置。 它用于用光學顯微鏡觀察透明材料的表面(銀靶)或用電子顯微鏡處理少量導電膜(金/銀靶)的樣品。
詳情介紹:

只需按一下按鈕即可自動涂布。 根本沒有煩人的操作。 高性價比的機器。 它是MSP-1S的弟弟。
采用小目標(φ30mm)。 運行成本低。 標配金靶標。 對桌面掃描電鏡的預處理有效。
可選的目標 Ag 膜具有出色的光澤度,便于對透明材料表面進行光學顯微觀察。

總結
該裝置是帶有磁控管目標的金屬涂層裝置。 它用于用光學顯微鏡觀察透明材料的表面(銀靶)或用電子顯微鏡處理少量導電膜(金/銀靶)的樣品。

主要產品規格

項目 規范
權力 AC100V,10A 3芯插頭,帶地線
設備大小 寬度 180 mm, 深度 270 mm, 高度 183 mm
(設備重量 4.2 Kg)
旋轉泵 抽速 5 l/min (G-5DA)
(泵重 5.5Kg)
試樣室尺寸 內徑 86 mm,高度 60 mm(硬玻璃)
試樣載物臺尺寸 Φ83毫米
試樣尺寸 有效直徑Φ30mm,高度20mm以下
目標 Φ30mm磁控管電極
Au(標配),可選(Ag)
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