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簡單介紹：

PCU-30 是一種去除電子顯微鏡樣品觀察中的污染并提高分辨率和分析性能的設備。低功耗RF 13.56MHz激發等離子體輻照可實現高效清潔，減少樣品損壞。可以對 TEM、SEM、FIB 樣品、樣品架和隔膜進行抗污染處理。腔室排氣是一個完全清潔的排氣系統，帶有渦輪分子泵和渦旋泵。

詳情介紹：

將桌面式、緊湊、節省空間、操作簡單融入商品化設計中，使其成為用戶使用方便的節能設備。
它與空氣、氬氣、氬氣氧和各種其他加工氣體兼容。射頻電源*高為50W以下，無需報告高頻電源。

您在SEM觀察中遇到污染問題嗎？ PCU-30 用于**樣品上的污染物并實現重復觀察。
樣品：金蒸氣沉積顆粒
SEM：日立 S-4100 （15KV）

通過 SEM 觀察電子束照射污染和等離子體照射去除污染（第 1 次）。
（射頻激發的氬等離子體，20Pa/30W/4min輻照）

通過SEM觀察電子束照射重新附著污染物，并通過等離子體照射去除污染物（**次）。
（射頻激發的氬等離子體，20Pa/30W/4min輻照）

我們將根據要清潔的支架設計腔室形狀。支持 SEM 和 TEM 樣品。

主要產品規格

項目	規范
權力	AC100V（單相100V15A）
設備大小	寬 480 mm，深 440 mm，高 390 mm（安裝 270 mm） * 腔室高度因規格而異。（設備重量：約 40 kg（取決于腔室規格））
渦旋泵重量	約14kg（ISP-90）
排氣系統	TMP67升/秒、SCRP90升/分鐘
等離子電源	頻率 13.56MHz，輸出 0~50W

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京公網安備 11030102010384號

產品名稱：SHINKUU真空設備等離子處理設備