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產品詳情
簡單介紹：
通過組合多個面板加熱器，即使在超過8G的大型玻璃基板上也可以精細控制溫度。
半導體制造設備中使用的熱板可以快速升溫，溫度分布均勻。
通過使用陶瓷氣密端子作為端子，可以在真空中競爭功率。
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- 如圖所示，通過組合多個面板加熱器，即使在超過8G的大型玻璃基板上也可以精細控制溫度。
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