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產品詳情

  • 產品名稱：SHIBAURA芝浦機電油旋轉真空泵

  • 產品型號：DRP-360III
  • 產品廠商：SHIBAURA芝浦機電
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
電機耦合油旋轉真空泵DRP系列
詳情介紹：

* 規格或建議零售價如有更改，恕不另行通知。

預防 措施

  • 我們的油旋轉真空泵的設計和制造基于以下用途。
    （1）吸入氣體類型：空氣和惰性氣體（N）    2， 一氧化碳2、氦、氖、氬、氙、錳......
    （2）吸入氣體溫度5~40°C
    （3）環境溫度5~40°C
    （4）常壓 泵壓約1.3×10    2Pa以下
    （5） 其他 較少重復真空和大氣。 切勿吸入水或其他液體。
    * 如果使用條件與上述不同，請與我們聯系。

  • 請注意，在以下應用中使用時，標準真空泵的使用壽命會縮短。
    （1）腐蝕性氣體（Cl    2覆 銅板4、CF4、BBr3、HBr ...）
    [示例] 離子注入、蝕刻、CVD 等
    * 即使在特殊規格的真空泵的情況下，也不要吸入高度易燃或揮發性物質。
    （2）大量水蒸氣、化學品、溶劑、粉末等的排放。
    （3）當常壓為1.3kPa以上時。
    （4）當真空和大氣的重復頻率很強時。
    （5）不要吸入氨氣。

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