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簡單介紹：
RPI30可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號，通過4096細分，并以并行格式提供輸出信號，*多可提供36位的位置數據。當與雙光程平面鏡干涉儀系統 (PMI)（正弦波的基本周期名義值為158 nm）結合使用時，在速度高達2 m/s的情況下，*低有效位 (LSB) 也可達38.6皮米。
詳情介紹：
可啟用主動利薩如修正以補償激光尺的DC偏置和AC失配，從而在低速條件下將電子細分誤差 (SDE) 減少到±0.1 nm。
特性與優點
高精度 — 低SDE影響 (±0.1 nm)。
主動SDE修正 — 減少位置測量中的誤差。
位置數據 — 通過并行總線將來自RLE的1 Vpp模擬正交信號轉換為位置讀數。
主動更新 — DC偏置和AC失配。
易于訪問 — 用于遠程下載和分析的診斷連接。
多軸解決方案 — 通過LVTTL (3.0 V) 兼容總線輸出兩軸的位置和狀態。
通信協議 — 位置數據為36位（二進制補碼字），并可選擇LSB。
實時狀態 — 包括信號強度和錯誤標記。
特性與優點
高精度 — 低SDE影響 (±0.1 nm)。
主動SDE修正 — 減少位置測量中的誤差。
位置數據 — 通過并行總線將來自RLE的1 Vpp模擬正交信號轉換為位置讀數。
主動更新 — DC偏置和AC失配。
易于訪問 — 用于遠程下載和分析的診斷連接。
多軸解決方案 — 通過LVTTL (3.0 V) 兼容總線輸出兩軸的位置和狀態。
通信協議 — 位置數據為36位（二進制補碼字），并可選擇LSB。
實時狀態 — 包括信號強度和錯誤標記。
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