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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵

  • 產(chǎn)品型號：MS1200A
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。
詳情介紹：

MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。

特點

  • 通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
  • 采用ULVAC獨特設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
  • 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途

  • 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。
  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
  • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
  • 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

規(guī)格

型式 MS120A MS600A MS1200A
*大排氣速度 *1 m3/h 115 560 980
到達壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1
電源電壓 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1
冷卻水量 L/min >4.0
Purge gas量 *1 SLM 0~50
*大水蒸氣處理量 *1*3 kg/h 1.5
噪音值　*1 dB(A) 61 62 64
吸氣口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100
排氣口 KF40
質(zhì)量 *4 kg 139 241 264
適用規(guī)格 CE、cTUVus
標準附屬品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件 Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM
外部選配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的*大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer

排氣速度曲線

  • MS120A
    ms120a_curve.png
  • MA600A
    ms600a_curve.png
  • MS1200A
    ms1200a_curve.png


尺寸圖

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