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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發科多級羅茨型干泵

  • 產品型號：UR3601-TT
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。
詳情介紹：



通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

特點

  • 高溫區域均熱化
    實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出。
    UR系列可比HR系列更加高溫化。
  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常**。
  • 瞬停對策
    采取了1000msec以內瞬停對策。
  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。
  • 通信功能
    可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。

用途

  • CVD裝置
  • 蝕刻裝置
  • 灰化裝置
  • ALD、ALH 等

規格

型號 UR421-T UR600 UR1200 UR1800 UR3601-TT
使用泵 干式真空泵
UR421-T
UR90 UR90 UR180 UR421-T
機械增壓泵 - PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C-T
*大
排氣速度 		50Hz 410 m3/h
(6833 L/min) 		653 m3/h
(10883 L/min) 		1012 m3/h
(16867 L/min) 		1701 m3/h
(28350 L/min) 		2700 m3/h
(45000 L/min)
到達壓力
5.0 Pa
*大排氣壓力（吸入圧力） 大氣壓
*大排氣口壓力
（排出圧力） 		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規格) VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口 VG50
NW40
NW50
質量 415 kg 370 kg 403 kg 553 kg 720 kg
電源 *2 三相 180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz) 		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) 180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)
電流值 穩定時 23 A(at 200V) 16.4 A(at 200V) 18.9 A(at 200V) 29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V) 		39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
*大值 52.5 A(at 200V) 17.3 A(at 200V) 22. 4 A(at 200V) 34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V) 		68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力 0.2~0.5 Mpa 0.1~0.3 Mpa 0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差 >0.2 Mpa >0.1 Mpa >0.1 Mpa >0.1 Mpa >0.2 Mpa
冷卻水流量 >5.0 L/min
吹掃氣 一次壓力 0.1~0.5 Mpa
二次壓力 0.05~0.1 Mpa
N2吹掃 軸 5 SLM
氣鎮 0~195 SLM 0~45 SLM 0~195 SLM 0~195 SLM

*1:請勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進行連續運
*　沒有登載規格一覽表上的UR系列請另行確認

■運轉方式

干式真空泵運轉方式 1 2 3
N2 流量 SLM 0 5 5~50*1


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