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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發科低溫泵

  • 產品型號：CRYO-U4H
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

特點

  • *大發揮了4-inch低溫泵的排氣特性。
  • 高排氣速度有助于提高排氣效率和生產率。
  • 特別適用于半導體制造設備和小型設備的濺射工藝。
  • 1臺壓縮機*多可以運行四臺泵。
  • 可以根據您的應用進行設計和制造。

標準規格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 450
氫 500
氬 370
水 1,100
極限壓力 Pa 10-7
*大流量 氬 Pa?L/s 1.3×103
排氣容量 氬 Pa?L 1.0×107
氫 1.5×105
冷卻下降時間 min(50/60Hz) 45/50
重量 Kg 14.5

外形尺寸 (單位:mm)

u4h.gif
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