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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發科低溫泵

  • 產品型號：CRYO-U8H-U
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

特點

  • 與CTI低溫泵CT-8完全可互換。
  • 氫氣排放特性優于CT-8
  • 可以多臺運作（*多3臺）。

標準規格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 1,700
氫 2,700
氬 1,400
水 4,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.2×103(8.9)
氫 2.4×102(1.8)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 1.0×108(7.6×105)
氫 1.0×106(7.6×103)
冷卻下降時間(動力循環) min(Hz) 100/90(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-200,6BANSI,UFC-253
壓縮機組 C10T,C10AT
重量 Kg 20.8

*維護周期：16,000小時

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