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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛(ài)發(fā)科低溫泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U10HSP
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開(kāi)發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。
根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開(kāi)發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

  1. *適合濺射應(yīng)用。
  2. 氬氣容量是現(xiàn)有型號(hào)（U10H）的2倍。
  3. 再生時(shí)間間隔延長(zhǎng)意味著更高的可用性。
  4. 可以進(jìn)行多個(gè)連接（*多3個(gè)）。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 2,400
氫 3,600
氬 2,000
水 6,900
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.30×103(9.8)
氫 2.1×102(1.6)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 2.0×108(1.5×106)
氫 1.2×106(9.0×103)
冷卻下降時(shí)間
(動(dòng)力循環(huán)) 		min(Hz) 120/110(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-250,10BANSI
壓縮機(jī)組 C15R
重量 Kg 36.0

*維護(hù)周期：16,000小時(shí)
*移動(dòng)托盤(pán)可選

外觀尺寸 (單位:mm)

u10hsp.gif
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