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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發科低溫泵

  • 產品型號：CRYO-U12HSP
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

特點

  1. 氬氣的排氣速度約為標準型號（U12H）的2倍。
  2. 氫氣的排氣速度約為標準型號（U12H）的1.5倍。
  3. 再生的間隔時間更長，有助于增加設備的工作時間。

標準規格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 4,100
氫 6,000
氬 3,400
水 9,500
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 2.0×103(15.0)
氫 4.1×102(3.1)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 4.4×108(3.3×106)
氫 1.6×106(1.2×104)
冷卻下降時間(動力循環) min(Hz) 90/80(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-300,10BANSI
壓縮機組 C30VRT
重量 Kg 42

*維護周期：16,000小時

外形尺寸 (單位:mm)

u12hsp.gif
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