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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發科低溫泵

  • 產品型號：CRYO-U16
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

特點

  1. *適用于中，大型設備。
  2. *適用于批量型大型成膜設備。
  3. 熱負荷能力強。

標準規格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 5,000
氫 10,000
氬 4,200
水 16,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.4×103(11.0)
氫 4.1×102(3.1)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 4.3×108(3.3×106)
氫 2.4×106(1.8×104)
冷卻下降時間(動力循環) min(Hz) 110/100(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-400
壓縮機組 C30VRT
重量 Kg 61.0

*維護周期：16,000小時
*移動托盤可選

外形尺寸 (單位:mm)

u16-u16p.gif
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