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- Navitar納維塔爾鏡頭
- KANETEC強力脫磁裝置
- NPM日本脈沖電機
- YUASA尤阿薩折彎機
產品詳情
簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
特點
- 特別適用于大型成膜生產設備。
- 特別適用于批量型大型成膜設備。
標準規格
| 排氣速度(20℃) | 氮 | L/s | 10,000 |
| 氫 | 18,000 | ||
| 氬 | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| *大流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.1×103(8.7) |
| 氫 | 5.0×102(3.7) | ||
| 排氣容量 | 氬 | Pa?L(Torr?L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 氫 | 4.6×106(3.4×104) | ||
| 冷卻下降時間(動力循環) | min(Hz) | 180/160(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-500 | ||
| 壓縮機組 | C30VRT | ||
| 重量 | Kg | 69.0 | |
*維護周期：16,000小時
外形尺寸 (單位:mm)
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