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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發科低溫泵

  • 產品型號：CRYO-U20H
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

標準規格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 10,000
氫 18,000
氬 8,400
水 29,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.7×103(12.8)
氫 5.0×102(3.7)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 5.8×108(4.4×106)
氫 4.6×106(3.4×104)
冷卻下降時間
(動力循環) 		min(Hz) 160/140(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-500,20BANSI,ISO-500
壓縮機組 C30PVRT
重量 Kg 72.0

*維護周期：16,000小時

外形尺寸(單位:mm)

u20h_e.gif
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