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- COSMO科斯莫檢漏儀
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- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林時計
- Navitar納維塔爾鏡頭
- KANETEC強力脫磁裝置
- NPM日本脈沖電機
- YUASA尤阿薩折彎機
產品詳情
簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
特點
- 特別適用于大型成膜設備。
- 水的排氣速度*高。
標準規格
| 排氣速度(20℃) | 氮 | L/s | 17,000 |
| 氫 | 25,000 | ||
| 氬 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7 (10-9) | |
| *大流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 4.1×103 (31) |
| 氫 | 1.3×103 (9.6) | ||
| 排氣容量 | 氬 | Pa?L(Torr?L) | 8.1×108 (6.1×106) |
| 氫 | 8.5×106 (6.4×104) | ||
| 冷卻下降時間(動力循環) | min(Hz) | 150/135 (50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | VG-550 | ||
| 壓縮機組 | C30VRT×2 | ||
| 重量 | Kg | 125.0 | |
*保養周期：16,000小時
U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment
外形尺寸 (單位:mm)
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