■ 可選地，可以安裝簧 片開(kāi)關(guān)（電磁檢測(cè)閥門(mén)的打開(kāi)和關(guān)閉位置）。

■ 各種真空管路

型	LCAV-25型
公稱(chēng)通徑	25
電導(dǎo) （L/s）	15
閥體和密封件的泄漏率（Pa?m3/s）	1.3×10-10以下
閥座表面壓差（MPa）	0.1
A：本體 B：密封件/材料	A： SUS 304 B： 氟橡膠
壓縮空氣壓力（MPa）	0.29~0.49
生命周期	1,000,000次（室溫下）
烘烤溫度 （°C）	70
氣缸容量 （mL）	15
重量 （kg）	1.2

型	LCAV-40型
公稱(chēng)通徑	40
電導(dǎo) （L/s）	45
閥體和密封件的泄漏率（Pa?m3/s）	1.3×10-10以下
閥座表面壓差（MPa）	0.1
A：本體 B：密封件/材料	A： SUS 304 B： 氟橡膠
壓縮空氣壓力（MPa）	0.29~0.49
生命周期	1,000,000次（室溫下）
烘烤溫度 （°C）	70
氣缸容量 （mL）	30
重量 （kg）	2.0

型	LCAV-50型
公稱(chēng)通徑	50
電導(dǎo) （L/s）	85
閥體和密封件的泄漏率（Pa?m3/s）	1.3×10-10以下
閥座表面壓差（MPa）	0.1
A：本體 B：密封件/材料	A： SUS 304 B： 氟橡膠
壓縮空氣壓力（MPa）	0.29~0.49
生命周期	1,000,000次（室溫下）
烘烤溫度 （°C）	70
氣缸容量 （mL）	40
重量 （kg）	2.5

* 請(qǐng)從此處下載外部尺寸圖。