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產品詳情
  • 產品名稱:DIAVAC日本大亞濺射設備

  • 產品型號:SR-350DS-31-N
  • 產品廠商:DIAVAC日本大亞
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
緊湊經濟,適合研發(fā) 通過安裝運輸室和 L/UL 室(可選),也可以實現(xiàn)全自動濺射
詳情介紹:

■ 緊湊經濟,適合研發(fā) ■ 通過安裝運輸室和 L/UL 室(可選),也可以實現(xiàn)全自動濺射

電池材料、微機械、防反射膜、阻隔膜、透明導電膜、記錄介質

目的:該裝置的目的是濺射各種材料

標準規(guī)格

真空室
(濺射室)
圓柱形,SUS304,內部尺寸ф350 x H270
頂蓋上升旋轉式(空氣液壓驅動) 極限
壓力:1x 10-4Pa以下 帶百葉窗的窺視孔

烘烤加熱器(可選)
濺射式(可改為濺射式)
陰極 2“ 磁控管陰極 4
個用于磁性靶材的陰極(可選) 遠程
操作單個百葉窗(可選:定時器驅動) RFxRF
或 RFxDC(可選) 可同時放電
PCB支架 ф280旋轉基板支架
3~30rpm連續(xù)旋轉或90o步進給
水冷卻(可選:300oC加熱)可反向
濺射(RF300W)(可選)
排氣系統(tǒng) 300 L/sec TMP + RP(可選:可改為干泵) 通過蝶閥調節(jié)電
導率(手動) 自動
運行排氣和干氣泄漏
氣體基 質量流量控制器:2線(可選:可加裝氣體系列)
真空計 寬帶電離真空計 + 皮拉尼真空計
濺射電源 2 x RF300W(可選:可添加直流電源) 兩個
單元都是自動匹配的
效用 安裝空間:約W2000 x D1000 x H1500冷卻
水:3 L/min,0.1~0.15 MPa
電源容量:3ф 200V 5kVA
濺射氣體,泄漏干燥氣體
選擇 請參考以上運輸室、
裝卸室
等項目。

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