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產品詳情

  • 產品名稱：ESPEC埃斯佩克 低氧烘箱

  • 產品型號：IPHH-202MS
  • 產品廠商：ESPEC埃斯佩克
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
近年來，由于電阻值較低，布線材料已從 AL（鋁）轉向 Cu（銅）。與此同時，當在普通烘箱中進行熱處理時，由于銅部分的氧化而出現了問題。 另外，為了檢查閃存寫入的內容是否不會被電遷移擦除，在250℃下進行老化，但此時凸塊區域會被氧化，因此氧濃度降低至100ppm或更少。 “低氧烘箱”就是為了滿足這一需求而開發的。可在氧濃度100ppm以下的條件下進行350℃的老化測試。
詳情介紹：
顯著減少氮氣使用量
腔體內高度密封的設計和氮氣流量切換機構，大大減少了氮氣的使用量。
通過縮短降溫時間來縮短加工時間
內部冷卻機制的**性將降溫時間縮短到了之前的三分之一以下。 （240分鐘→80分鐘以內：參考值）可以快速取出樣本，縮短處理時間。
簡介（示例）
簡介（示例）
設備配置
設備配置
主要規格
模型 IPHH-202MS
電源 AC200V 1φ 50/60Hz
*大電壓 3.8VA
方法 強制熱風循環
表現 溫度范圍 環境溫度+50~+350℃
溫度波動范圍 100℃時±0.1℃／200℃時
±0.2℃ 350℃時±0.2℃
溫度分布 100℃時±0.5℃／200℃時
±1.5℃ 350℃時±3.0℃
升溫時間 80分鐘內室溫升至+350℃
氮氣 體液 N2氣（常溫/干燥氣體）
*低氧氣濃度 100ppm以下（60-100NL/min時）
氣體介紹 基環接頭 3/8" 型接頭
內部容量 216?
尺寸 內部法 W600×H600×D600mm（不含突出部分）
外形尺寸 W1190×H1700×D825mm（不含突出部分）
重量 250公斤
儀器儀表 駕駛模式 定值運算、程序運算
設定指令范圍 溫度：0~+360℃
時間：0~99小時59分鐘、100~999小時
（100小時以上以1小時遞增）
設置指令分辨率 溫度：1℃
時間：1分鐘
示值精度 溫度：±(2℃+1digit)以內
時間：讀數值±300ppm
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