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產品詳情
  • 產品名稱:THERMOCERA日本HT加熱器

  • 產品型號:HT○W○○-○○-08
  • 產品廠商:THERMOCERA日本K.K
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
帶有 SiC3 和 TiC3 加熱器的超高溫定制加熱器。 高規格基板加熱階段,可承受需要高純度、耐熱性和耐腐蝕性的惡劣工藝環境。
詳情介紹:

HT系列采用碳化硅(SiC3)和碳化鈦(TiC3)涂層線材,滿足對高純度、耐腐蝕性和耐熱性的苛刻工藝環境的要求。 規格條件請告知我們,我們將根據客戶的要求每次定制。

*由于是針對超高溫的,我們推薦水冷式規格。

  • 真空薄膜形成(CVD、濺射、ALD、PLD、MBE 等)
  • 薄膜應力和熱分析
  • 晶圓退火加熱階段
  • 其他

加熱元件、*高溫度(板溫)、使用環境

型號配置

原理圖規格

外形圖和參考照片

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