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產品詳情

  • 產品名稱：THERMOCERA日本臺式超高溫實驗爐

  • 產品型號：Mini-BENCH-Φ3
  • 產品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
超緊湊臺式超高溫實驗爐， 適用于各種研發應用[Mini-BENCH]系列
詳情介紹：
我們根據您的預算和目的，從*低配置（加熱器/腔室+控制箱）中提出*合適的碳爐系統（真空、惰性氣體、還原氣氛）。

Φ80mm內徑坩堝感應樣品，Φ1~4英寸晶圓燒制 體積小，操作簡單 溫度快速升至2000°C！
可廣泛應用于SiC和GaN器件的基礎研究、新材料及材料的開發、其他先進的基礎研究、產品開發等部門。

特征

 

  • 桌面尺寸小，可以安裝在實驗室的有限空間內。
  • 我們將根據所需的燒制條件響應定制設計。
  • 我們將提出適合您預算的設備配置。

 

【設備配置】

 

（a） 腔室 + 控制箱
（b） 腔室 + 控制箱 + 真空排氣系統（泵、儀表、閥門、真空管道）

 

*訂購時請按照以下說明進行操作。

?要求的設備配置（A或B以上）、
爐膛加熱范圍、尺寸
、樣品材料、形狀
、燒成溫度條件
、爐膛氣氛（真空燒成、氣體類型）

原理圖規格

加熱器

 

  • 平面加專線（晶圓用）：C/C復合材料（或鎢）
  • 圓柱形加熱絲（坩堝用）：C/C復合材料（或鎢）

* 根據加熱范圍的尺寸，平面加熱器和圓柱形加熱器可以組合使用，以實現整個坩堝的均勻加熱。

Mini-BENCH控制箱

 
可編程溫度控制器、直流電源（或外部變壓器）、工作端、電流表和腔室開關設備*裝在一個緊湊的盒子里。 它包含Mini-BENCH基本操作所需的一切。
 

*** Φ3 和 4 英寸尺寸的腔室。

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