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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：THERMOCERA日本手套箱薄膜實驗室設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號：MiniLab-026-GB
  • 產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
MiniLab-026 和 MiniLab-090 的腔室部分與手套箱工作臺相連，控制架存放在工作臺下方。 這是一種薄膜實驗裝置，設(shè)計用于連接到手套箱。 這是一種節(jié)省空間的裝置，將濺射和真空沉積等薄膜沉積設(shè)備與手套箱安裝區(qū)域集成在一起。
詳情介紹：
OLED、OPV、OTFT、石墨烯和 TMD（過渡金屬硫族化合物）等 2D 材料的沉積過程要求樣品在與氧氣和水分隔離的惰性氣體氣氛中處理。
在MiniLab-026/00-GB中，PVD工藝室被安置在國標(biāo)箱中，以在緊湊且節(jié)省空間的環(huán)境中為有機薄膜實驗創(chuàng)造一個“無氧和無濕氣”的環(huán)境。

特征

 

  • 節(jié)省空間。 薄膜沉積裝置適合手套箱主體的尺寸。
  • 成膜后，樣品可以在工作臺控制的氣氛中處理，而不會暴露在大氣中。
  • PVD沉積、旋涂應(yīng)用和熱板烘烤等一系列任務(wù)可以在GB內(nèi)無縫執(zhí)行，而無需將其暴露在外部空氣中。

適用機型

 

  • MiniLab-026： 26升體積小腔金屬
    /有機/EB沉積、濺射、射頻/直流蝕刻、退火
  • MiniLab-090： 90l 容積箱室金屬
    /有機/EB 沉積、濺射、射頻/直流蝕刻、退火

靈活的系統(tǒng)

 

豐富的沉積模塊，可靈活配置您需要的源。
腔室打開和關(guān)閉規(guī)格，便于操作

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