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簡單介紹：
MiniLab-026 和 MiniLab-090 的腔室部分與手套箱工作臺相連，控制架存放在工作臺下方。 這是一種薄膜實驗裝置，設計用于連接到手套箱。 這是一種節省空間的裝置，將濺射和真空沉積等薄膜沉積設備與手套箱安裝區域集成在一起。
詳情介紹：
OLED、OPV、OTFT、石墨烯和 TMD（過渡金屬硫族化合物）等 2D 材料的沉積過程要求樣品在與氧氣和水分隔離的惰性氣體氣氛中處理。
在MiniLab-026/00-GB中，PVD工藝室被安置在國標箱中，以在緊湊且節省空間的環境中為有機薄膜實驗創造一個“無氧和無濕氣”的環境。
在MiniLab-026/00-GB中，PVD工藝室被安置在國標箱中，以在緊湊且節省空間的環境中為有機薄膜實驗創造一個“無氧和無濕氣”的環境。
特征
- 節省空間。 薄膜沉積裝置適合手套箱主體的尺寸。
- 成膜后，樣品可以在工作臺控制的氣氛中處理，而不會暴露在大氣中。
- PVD沉積、旋涂應用和熱板烘烤等一系列任務可以在GB內無縫執行，而無需將其暴露在外部空氣中。
適用機型
-
MiniLab-026： 26升體積小腔金屬
/有機/EB沉積、濺射、射頻/直流蝕刻、退火 -
MiniLab-090： 90l 容積箱室金屬
/有機/EB 沉積、濺射、射頻/直流蝕刻、退火
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