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產品詳情
  • 產品名稱:THERMOCERA日本納米爐熱CVD系統

  • 產品型號:BWS-NANO-2.5
  • 產品廠商:THERMOCERA日本K.K
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
緊湊型、熱壁式、熱壓 CVD 基板尺寸:Φ2.5英寸或Φ4英寸
詳情介紹:

納米爐模型。 BWS-納米

【熱壁式熱壓電阻斷系統】緊湊型高性能恒壓壓阻斷系統,是基礎研究的理想選擇

 

  • 石墨烯、碳納米管
  • ZnO納米線
  • 絕緣膜,如SiO2等

此外,它還可以作為熱墻式熱CVD系統廣泛使用。

特征

 

  • 在緊湊的系統中可以進行高質量的沉積實驗。
  • 熱壁式均勻加熱反應管內部
  • 4 個系統(CH4、Ar、H2、起泡器) MFC高精度流量控制:精度±1% F.S.
  • 帶電容壓力計的高精度APC壓力控制
  • 使用Lab View軟件(可選)進行遠程控制,進行數據分析

原理圖規格

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