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- SANKO山高膜厚計
產品詳情
簡單介紹：
NC-2000FLA 用于非接觸式（渦流法、電容法）電阻率和平整度測量的全
自動分選系統
詳情介紹：
產品特性和功能
電阻率、平坦度（厚度）和PN判斷均為全自動非接觸式測量。
- 電阻率采用渦流法，平坦度采用電容法。
- 適用于硅晶圓、GaP 和 InP 等化合物半導體的生產控制
- 具有溫度補償功能的溫度計（硅片）
- 磁帶的數量可以根據您的要求而多
測量規格
測量目標
- 半導體和太陽能電池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）
- 化合物半導體（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
目標大小
3~8寸
測量范圍
[電阻率] 1m~200Ω·cm （*所有探頭類型的總量程/厚度500um）
[片狀電阻] 10m~3kΩ/s （*所有探頭類型的總量程）
[厚度] 150~1,200μm
*每種探頭類型的測量范圍請參考以下內容。
（1）低：0.01~0.5Ω/□（0.001~0.05Ω·cm）
（2）中：0.5~10Ω/□（0.05~0.5Ω·cm）
（3）高：10~1,000Ω/□（0.5~60Ω·cm）
（4）S-高：1,000~3,000Ω/ □（60~200Ω·cm）
產品留言
