產品特性和功能

多點多點測量

非接觸式非接觸式

電腦和軟件

直插式模塊

用于集成到用戶側生產線和運輸機器人中的測量模塊

• 根據所需的電阻測量范圍確定探頭數量和探頭類型
• 命令/測量數據通過LAN連接傳送到主機PC。

測量規格

測量目標

• 半導體和太陽能電池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）
• 新型功能材料（碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等）
• 導電薄膜（金屬、ITO等）
• 化合物半導體（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
• 其他（*請聯系我們）

目標大小

2 ~ 8 英寸，~156×156 毫米
（可選;~12 英寸，~210×210 毫米）

測量范圍

[電阻率] 1m~200Ω·cm
（*所有探頭類型的總量程/厚度500um）
[片狀電阻] 10m~3kΩ/sq
（*所有探頭類型的總量程）
[厚度] 500~800μm

*每種探頭類型的測量范圍請參考以下內容。
（1）低：0.01~0.5Ω/□（0.001~0.05Ω·cm）
（2）中：0.5~10Ω/□（0.05~0.5Ω·cm）
（3）高：10~1,000Ω/□（0.5~60Ω·cm）
（4）S-高：1,000~3,000Ω/ □（60~200Ω·cm）