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- SANKO山高膜厚計
產品詳情
簡單介紹：
它是一種非接觸式平面度和厚度測量系統。 測量 Mr./Ms. 拉力的平整度（TTV、BOW、WARP）和厚度。
詳情介紹：
產品特性和功能
它是一種非接觸式平面度和厚度測量系統。 測量 Mr./Ms. 拉力的平整度（TTV、BOW、WARP）和厚度。
- 測量厚度、TTV、BOW、經線、場地平整度和整體平整度（符合 ASTM 標準）
- 支持 2D 和 3D 映射顯示的軟件
- 數據可以輸出為CSV文件。
- 采用5mmφ磁芯電容式探頭進行高精度測量
- 12,000 次掃描/60 秒內高速測量
測量規格
測量目標
- 半導體和太陽能電池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）
- 硅基外延、離子注入 Mr./Ms.
- 化合物半導體（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
目標大小
3~8寸
測量范圍
厚度：200 –1,200μm
弓：+/-350μm
翹曲：350μm
產品留言
