FD-4000DF 扁平盤用除氣除氣器

在直徑達 100 mm 的扁平 Mr./Ms 表面收集揮發性成分（有機污染物）。 （矩形拉手*大 70 毫米）

我們使用成熟的收集方法來收集硅晶圓的揮發性有機污染物。

操作簡單，可可靠地收集痕量揮發性成分。

烤箱加熱溫度高達400°C。

內置水冷流路用于腔室冷卻，冷卻水循環裝置（可選）用于快速冷卻。

使用我們的大容量收集管進行收集（也可以與其他公司生產的樣品管兼容）。

設備規格

FD-4000DF
假定 Mr./Ms. 形狀	例如HDD磁盤（0.8~3.5英寸為可能）
樣品烘箱數量	1 件
試樣室材料	不銹鋼 （SUS316L）
罩	惰性烤盤
烘箱加熱溫度	室溫 ~ 400°C
烘箱加熱方式	電阻加熱方式
密封方式	特殊環（特氟龍）
保障	配備 急停開關， 具有 防止每個加熱器過熱的功能，配有漏電斷路器
吹掃氣體的種類	他或氮氣
吹掃氣體的原始壓力	0.5MPa（5Kgf/cm2）以上
吹掃氣體流速	500mL/min（*大）
加熱設置時間	長達 99 小時 59 分鐘（可以 1 分鐘為增量安裝）
尺寸和重量	烘箱部分：500 （W） × 700 （H） × 500 （D） mm， 約 45 kg
	控制器部分：360 （W） × 205 （H） × 500 （D） mm，約 10 kg
	閥單元：360 （W） × 175 （H） × 500 （D） mm，約 10 kg
權力	100V/20安培
水冷功能	標準設備（可選配冷卻水循環裝置）