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產品詳情
  • 產品名稱:MITSUIEC 三井電氣納米壓印

  • 產品型號:TMR-02
  • 產品廠商:MITSUIEC 三井電氣
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簡單介紹:
該系統是一種用于測試的輥壓印裝置,其中通過EB光刻系統形成的輥壓模具的小直徑輥(Φ30)雕刻的納米圖案通過熱固化方法轉移到大直徑輥上
詳情介紹:

型號 TMR-02

型號 TMR-02

該系統是一種用于測試的輥壓印裝置,其中通過EB光刻系統形成的輥壓模具的小直徑輥(Φ30)雕刻的納米圖案通過熱固化方法轉移到大直徑輥上,通過UV固化方法將小直徑輥的圖案轉移到大直徑輥上,并將這種大直徑輥模的納米圖案轉移到薄膜上。

【本設備規格】

壓印方式 熱固化法及UV固化法
軋輥基板 Φ300×150
壓制對象 0.08~0.2噸
*大軋輥加壓載荷 500N
單位面積載荷 3.92N/毫米2
涂布方式 尺寸壓制法/逗號輥模法
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