GF40系列彈性體密封熱式質量流量控制器/流量計

長處

• 可配置的多氣體/多量程功能
• Brooks® MultiFlo? 氣體數據庫基于數以千計的真實世界氣體測試，以建立一種補償功能
• 響應時間和 1% 的設定點精度，即使在繁重的應用中也是如此
• 與多種氣體兼容
• 具有快速響應的哈氏合金傳感器
• 獨立于工具的通信系統，并配備易于訪問的診斷服務端口
• 多協議通信選項，如 DeviceNet?、EtherCAT、® Profibus® 和 RS-485 模擬接口

優點

• 質量流量控制器 （MFC） 未從氣體管路中移除，并且包括用于滿量程范圍的新型氣體校準和 MultiFlo? 技術，以*大限度地延長過程生產的正常運行時間
• 簡單明了的 MultiFlo? 編程：可在 60 秒內選擇切換不同氣體
• 減少了原始設備制造商和大型*終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器的庫存
• 基于全球標準的高性能測量系統和校準，可實現**的工藝氣體精度
• 耐腐蝕傳感器可使傳感器保持長期穩定性，以確保*大的產量和吞吐量
• 用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷
• 彈性體密封件以合理的成本在各種應用中實現靈活的性能
• 多個協議通信接口支持集成到現有系統中

用途

• 太陽能電池CVD（化學氣相沉積）系統
• 生命科學生物反應器
• 真空工藝
• 納米技術/MEMS制造
• 等離子、玻璃和卷筒紙涂層系統
• 分集管/氣體分配系統的選擇